真空泵的概述及分類

   1、水環(huán)真空泵
    雖然水環(huán)真空泵屬于粗真空泵，但在石油，化工，電力，紡織，造紙，醫(yī)藥產(chǎn)品方面仍有很大的市場。在國外，水環(huán)真空泵的銷售額占市場總額的14%，次于干泵，所以SEIMEMS和NASH，在中國KINNEY投資建設(shè)這樣的公司和建立銷售網(wǎng)絡(luò)，并在我們的*不斷擴(kuò)大。由于水環(huán)泵大部分是鑄件，加工要求不高，勞動(dòng)密集型產(chǎn)品，所以水環(huán)泵在價(jià)格上有競爭優(yōu)勢，關(guān)鍵是要改進(jìn)設(shè)計(jì)，縮小體積，減輕重量，提高效率，降低能耗。
     2、旋轉(zhuǎn)活塞泵
   旋轉(zhuǎn)活塞泵是一種油封式真空泵。由于旋轉(zhuǎn)活塞泵更經(jīng)用，可靠，國內(nèi)外各種真空爐，干燥設(shè)備涂布，浸液旋轉(zhuǎn)活塞泵是一種旋轉(zhuǎn)活塞泵前級泵，但鑄造重，處理工作量較大，所以國外真空廠都在中國尋找合作伙伴。為了使國產(chǎn)滑閥泵能夠進(jìn)入市場，必須進(jìn)一步降低泵的振動(dòng)噪聲，防止泄漏和提高噴射以及旋轉(zhuǎn)活塞泵長期運(yùn)行的可靠性。
   3、直聯(lián)旋片泵
 跟著真空技能在各個(gè)運(yùn)用領(lǐng)域的需求不斷擴(kuò)大，直聯(lián)旋片泵日益增加。因?yàn)檫@種泵數(shù)量，加工和裝置的作業(yè)量是十分大的，價(jià)格很低，所以在我國的一些外國真空制造商樹立工廠。國內(nèi)中小型直聯(lián)旋片泵技能現(xiàn)已過，價(jià)格遠(yuǎn)比國外泵廉價(jià)，所以國產(chǎn)泵仍然有競賽優(yōu)勢，關(guān)鍵是要處理軸封走漏和旋轉(zhuǎn)葉片資料以及真空泵油的功能質(zhì)量問題，保證直聯(lián)泵在高速，高溫功能安穩(wěn)，作業(yè)牢靠，一起，進(jìn)一步完善國內(nèi)直聯(lián)旋片泵除水蒸氣的才能。
　4、羅茨真空泵
 從國外羅茨真空泵出產(chǎn)的狀況來看，國外一些大公司，他們每個(gè)羅茨泵的出售額占羅茨泵出售份額超越5%，這不僅是20%，共5家羅茨泵輸出魯本不大，但國外的羅茨真空泵價(jià)格比國產(chǎn)泵高很多。現(xiàn)在，國內(nèi)外具有簡直一切大型或小型的高真空和真空系統(tǒng)，以縮短吸氣時(shí)刻、進(jìn)步羅茨真空泵設(shè)備出產(chǎn)功率，因而國產(chǎn)羅茨真空泵有必要在占據(jù)國內(nèi)商場的基礎(chǔ)上，成功進(jìn)入商場，所以咱們有必要進(jìn)一步削減國內(nèi)的羅茨真空泵的振動(dòng)噪聲，*處理軸封走漏問題，進(jìn)步質(zhì)量和進(jìn)步泵內(nèi)部外表的完和清洗。另外，乃至考慮到一些國家和地區(qū)的電源頻率為60Hz，更好的讓羅茨真空泵在長時(shí)間作業(yè)牢靠的前提下進(jìn)步速度。
  現(xiàn)在，國內(nèi)空氣嵌入式羅茨真空泵進(jìn)開展很快，技能上現(xiàn)已老練。因?yàn)檫@種泵在排氣口下方含氣體冷卻器，一部分經(jīng)過管道泵腔冷卻空氣來冷卻轉(zhuǎn)子的作業(yè)，從而使冰箱的熱量平衡，所以這種泵能夠直接銜接大氣。為了滿意極限真空泵系列的要求不同，這能夠被運(yùn)用，一般增加空氣嵌入式羅茨真空泵，前級泵的極限真空度要到達(dá)一個(gè)高水平比。這種泵因?yàn)樵诒檬覜]有作業(yè)介質(zhì)，實(shí)際上是歸于干泵。現(xiàn)在，在石油，化工，塑料，農(nóng)藥有這種嵌入式羅茨真空泵及機(jī)組，汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡，航天空間模仿設(shè)備有測驗(yàn)的長時(shí)間作業(yè)，所以應(yīng)該在我國推廣和運(yùn)用。
　　5、分子泵
 在許多外國半導(dǎo)體工藝場合場分子泵替代低溫泵，尤其是濺射，蝕刻和堆積設(shè)備選用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。
 因?yàn)榉肿颖脤λ魵獾某樗倥c直徑只要低溫泵的抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)刻比低溫泵長。為了進(jìn)步抽速，國外在分子泵的進(jìn)口側(cè)裝置一個(gè)130℃~ 150℃低溫冷卻板，稱為低溫分子泵，低溫板氣，其他氣體分子被抽走[6]。這種低溫分子泵在真空鍍膜設(shè)備上的運(yùn)用，既進(jìn)步了出產(chǎn)功率和進(jìn)步涂層質(zhì)量。跟著我國半導(dǎo)體工業(yè)，電影工業(yè)和科學(xué)研討工作迅速開展，分子泵應(yīng)該是集中于我國真空泵制造業(yè)的開展。首要，分子泵樹立一套完好的體系，以及研討和開發(fā)不同的復(fù)合分子泵，牽引泵和低溫分子泵，以滿意不同場合的需求。
      6、干式機(jī)械真空泵
 國外的干式機(jī)械真空泵商場不斷增加，其主要驅(qū)動(dòng)來自于半導(dǎo)體職業(yè)，化學(xué)工業(yè)，電影工業(yè)的快速開展。在日本，半導(dǎo)體職業(yè)已全部運(yùn)用干式真空泵油密封型機(jī)械泵，而歐美半導(dǎo)體職業(yè)超越45%替換干式真空泵油密封型機(jī)械泵，大大進(jìn)步了產(chǎn)品的功能和質(zhì)量。為了滿意不同的運(yùn)用和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵，多級爪式真空泵，螺桿真空泵和真空泵，往復(fù)式活塞真空泵和渦輪渦無油真空泵等。壓力從10 ~ 10-2Pa，從20m3/h ~ 500m3/h，依據(jù)計(jì)算抽速，現(xiàn)在國產(chǎn)干泵的運(yùn)用還缺乏1%，國內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)與干泵全部從國外進(jìn)口，價(jià)格十分貴重。因而，我國應(yīng)大力研討和開發(fā)干泵，使干真空泵成為我國工業(yè)經(jīng)濟(jì)新的增加點(diǎn)。